超声波扫描显微镜

超声波扫描显微镜使用高频超声波(15MHz～2GHz)对试件内部、亚表面和表面等进行观察及定性定量分析。其可以非破坏性、精细、高灵敏度地对试件微观形貌、微损伤及力学性能进行表征，广泛应用于微电子、集成电路、材料、航空航天和生物等领域的科学研究及过程质量控制。

产品特点

15MHz～500MHz超声显微检测

4通道实时高效成像

缺陷检测：内部空洞、分层、夹杂、气泡和裂纹，用于晶元键合、SMT焊接、芯片封装、MEMS器件、触摸层、复合材料、材料涂覆层等过程质量控制

材料表征与分析：力学性能测量、金相分析、蠕变孔洞、疲劳微裂纹、粘接强度等

参数配置

Z轴行程	120mm
扫描区域	用户自定义
脉冲形式	负极性脉冲
供电方式	交流电220V±10%，频率50Hz±5%
结构形式	台式
自动对焦	可实现表面、内部任意界面自动对焦
时间估算	整体及剩余用时估算
缺陷量化	可实现缺陷自动识别及量化
边缘测定	可自动寻找被测样品的中心位置和样品边缘，自动设定扫描范围
力学性能测试	可用于材料表层力学性能分析，具备表面波速、泊松比、杨氏模块、剪切模量和体积模量等参数测量功能
表面跟踪扫描	可设置参考闸门，实现成像闸门跟随功能。可解决由于样品不平造成的图像失真问题

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